تجهیزات ابزاردقیق عبارت اند از:سنسورها، ترانسمیترها، ترانسدیوسر، نمایشگرها، کنترلر ها، عنصر نهایی. تمام تجهیزات بالا از جمله تجهیزاتی می‌باشند که در یک پروسه کنترلی از آن‌ها استفاده میشود به بیان ساده‌تر ابزاردقیق و تجهیزات آن در تمام پروسه‌های کنترلی نقشی بر عهده دارند.